樹脂塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木宏義 , 天田昌行 , 岡田喜雅 , 菅野亨 , 溝口勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-005157
公開番号（公開出願番号）：特開2012-143723
出願日： 2011年01月13日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】ワーク厚みのバラつきや樹脂の量の増減にかかわらず、樹脂を適切に押し広げること。【解決手段】本実施の形態に係る樹脂塗布装置1は、ステージ602の上面に供給された液状樹脂Lを押圧部604における押圧面634に保持したワークWで上から押圧し液状樹脂LをワークW下面に広げる樹脂塗布装置1であって、押圧部604には、移動部606によるワークWのステージ602への接近によってワークW下面に液状樹脂Lが押し広げられる際に押圧面634が受ける圧力を検出する圧力センサ633が備えられ、制御部は圧力センサ633が検出した圧力に基づいて移動部606の動作を制御する構成とした。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ワークを吸着保持可能な押圧面を有する押圧部と、前記押圧面に対向して配設されたステージと、前記ステージの上面に液状樹脂を供給する樹脂供給部と、前記押圧面を前記ステージに対して接近及び離反させる移動部と、前記移動部の動作を制御する制御部と、を有し、前記ステージの上面に供給された前記液状樹脂を前記押圧面に保持した前記ワークで上から押圧し前記液状樹脂を前記ワーク下面に広げる樹脂塗布装置であって、前記押圧部は前記移動部による前記押圧面が保持した前記ワークの前記ステージへの接近によって前記ワーク下面に前記液状樹脂が押し広げられる際に前記押圧面が受ける圧力を検出する圧力センサを有し、前記制御部は前記圧力センサが検出した圧力に基づいて前記移動部の動作を制御することを特徴とする樹脂塗布装置。

IPC (6件)：

B05C 11/02 , H01L 21/304 , H01L 21/683 , B05C 11/00 , B05C 11/10 , B24B 41/06

FI (6件)：

B05C11/02 , H01L21/304 622N , H01L21/68 P , B05C11/00 , B05C11/10 , B24B41/06 L

Fターム (53件)：

3C034AA20 , 3C034BB73 , 3C034CA16 , 3C034CB20 , 3C034DD10 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042BA06 , 4F042BA25 , 4F042DD41 , 4F042DH09 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA15 , 5F031FA01 , 5F031FA05 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA08 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031HA02 , 5F031HA07 , 5F031HA13 , 5F031HA14 , 5F031HA46 , 5F031HA58 , 5F031JA02 , 5F031JA06 , 5F031JA10 , 5F031JA14 , 5F031JA15 , 5F031JA22 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA32 , 5F031JA36 , 5F031JA47 , 5F031LA12 , 5F031LA15 , 5F031MA37 , 5F031NA15 , 5F057BA11 , 5F057CA11 , 5F057DA11 , 5F057FA28 , 5F057GA02 , 5F057GB24

引用特許：

審査官引用 (7件)

樹脂被覆方法および樹脂被覆装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-333750 出願人：株式会社ディスコ
ウェーハ接着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-286427 出願人：新日本製鐵株式会社
光ファイバの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-263984 出願人：株式会社フジクラ

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