特許
J-GLOBAL ID：201203073232910451

感光性樹脂積層体

発明者：
姫田 優香理

姫田 優香理 について

, 
小谷 雄三

小谷 雄三 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について

, 
旭化成ケミカルズ株式会社

旭化成ケミカルズ株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  小野田 浩之 ,  齋藤 都子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-232723
公開番号（公開出願番号）：特開2012-088384
出願日： 2010年10月15日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
要約：
【課題】本発明は、高感度でホールドタイムによる感度低下(すなわち感度変化)が少なく(すなわち保存安定性に優れ)生産性が良好な感光性樹脂積層体を提供することを目的とする。また本発明は、該感光性樹脂積層体を用いて、基板上に感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層を露光及び現像することを含む、基板への密着性が良好なレジストパターンの形成方法及び導体パターンの製造方法を提供することも目的とする。【解決手段】支持体フィルム、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層、及び保護フィルムを含む感光性樹脂積層体であって、該保護フィルムが該感光性樹脂層に接して積層されており、形成直後の感光性樹脂層の感度と形成後に温度23°C及び相対湿度50%で72時間保持した後の感光性樹脂層の感度との差である感度差が27段ステップタブレットで3段以下である、感光性樹脂積層体を提供する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)支持体フィルム、(B)感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層、及び(C)保護フィルム、を少なくとも含む感光性樹脂積層体であって、 該(C)保護フィルムが該(B)感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層に接して積層されており、 形成直後の感光性樹脂積層体における感光性樹脂層の感度と、形成後に温度23°C及び相対湿度50%で72時間保持した後の感光性樹脂積層体における感光性樹脂層の感度との差である感度差が、27段ステップタブレットで3段以下であり、 該感度が、感光性樹脂層を27段ステップタブレットが13段になる露光量で露光し、次いで30°Cの1質量%の炭酸ナトリウム水溶液を用いて最小現像時間の2倍の時間期間にわたり現像することによって得られる硬化レジストの最高残膜段数として表される、感光性樹脂積層体。
IPC (2件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/11
FI (2件)：
G03F7/004 512 ,  G03F7/11 501
Fターム (34件)：
2H125AC24 ,  2H125AC33 ,  2H125AC34 ,  2H125AC35 ,  2H125AC57 ,  2H125AC63 ,  2H125AC64 ,  2H125AD00 ,  2H125AD11 ,  2H125AD14 ,  2H125AD24 ,  2H125AM13P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AM45N ,  2H125AN23N ,  2H125AN29P ,  2H125AN55P ,  2H125AN66P ,  2H125AN80P ,  2H125AN87P ,  2H125AN93P ,  2H125BA08P ,  2H125BA09N ,  2H125BA11P ,  2H125BA17P ,  2H125BA18P ,  2H125CA13 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD01N ,  2H125CD40 ,  2H125DA43
引用特許：
審査官引用 (4件)
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