特許
J-GLOBAL ID:201203076132432608
硬化膜の形成方法、硬化膜、表示素子及び感放射線性樹脂組成物
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (7件):
天野 一規
, 藤本 勝誠
, 奥谷 優
, 池田 義典
, 小川 博生
, 石田 耕治
, 森田 慶子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-057284
公開番号(公開出願番号):特開2012-194290
出願日: 2011年03月15日
公開日(公表日): 2012年10月11日
要約:
【課題】本発明は、光重合開始剤の昇華を抑制しつつ、紫外線硬LED方式の紫外線硬化装置を用いる場合においても、優れた表面硬化性及び深部硬化性を有する硬化膜を形成可能な硬化膜形成方法を提供することである。【解決手段】(1)感放射線性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程、(2)上記塗膜をフォトマスクを介して露光する工程、(3)上記露光された塗膜を現像する工程、及び(4)上記現像された塗膜を加熱する工程を有する硬化膜形成方法であって、上記感放射線性樹脂組成物が、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、[C]光重合開始剤、及び[D]酸発生剤を含有し、かつ上記工程(2)において、紫外線LEDを光源として露光することを特徴とする硬化膜形成方法である。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(1)感放射線性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程、
(2)上記塗膜をフォトマスクを介して露光する工程、
(3)上記露光された塗膜を現像する工程、及び
(4)上記現像された塗膜を加熱する工程
を有する硬化膜形成方法であって、
上記感放射線性樹脂組成物が、
[A]アルカリ可溶性樹脂、
[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、
[C]光重合開始剤、及び
[D]酸発生剤
を含有し、かつ
上記工程(2)において、紫外線LEDを光源として露光することを特徴とする硬化膜形成方法。
IPC (3件):
G03F 7/027
, G03F 7/004
, G02B 5/20
FI (3件):
G03F7/027 515
, G03F7/004 505
, G02B5/20 101
Fターム (30件):
2H048BA02
, 2H048BA45
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB10
, 2H048BB42
, 2H048BB46
, 2H125AC35
, 2H125AC36
, 2H125AC46
, 2H125AC63
, 2H125AC72
, 2H125AD02
, 2H125AD06
, 2H125AE12P
, 2H125AF18P
, 2H125AF20P
, 2H125AF21P
, 2H125AF35P
, 2H125AF45P
, 2H125AF53P
, 2H125AN36P
, 2H125AN39P
, 2H125BA01P
, 2H125BA17P
, 2H125CA17
, 2H125CB05
, 2H125CB06
, 2H125CC01
, 2H125CC13
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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