特許
J-GLOBAL ID：201203076797370107

荷電粒子線装置

発明者：
大橋 健良

大橋 健良 について

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早田 康成

早田 康成 について

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江角 真

江角 真 について

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福田 宗行

福田 宗行 について

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高橋 範次

高橋 範次 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-103949
公開番号（公開出願番号）：特開2012-234754
出願日： 2011年05月09日
公開日（公表日）： 2012年11月29日
要約：
【課題】イメージシフトの際、両立が困難であった、広い偏向領域と高い寸法計測再現性とを両立できる荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】荷電粒子源101、偏向手段(103、104、105等)、焦点位置変更手段(106、108)を制御すると共に検出器119により検出された電気信号により画像用データを作成する制御演算部121と、撮像条件ごとに登録された補正係数を保存する記録部120を有する荷電粒子線装置において、制御演算部は、焦点位置を変えながら複数の画像を取得し、画像内のマークの位置ずれ量と、記録部に登録された補正係数にもとづいて、計測用画像を取得する際に、荷電粒子線のランディング角が垂直となるように光学条件を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子源と、前記荷電粒子源から発せられた荷電粒子線を偏向する偏向手段と、前記荷電粒子線の焦点位置を変更する焦点位置変更手段と、前記荷電粒子線が照射された試料からの電気信号を検出する検出器と、前記荷電粒子源、前記偏向手段、前記焦点位置変更手段を制御すると共に前記検出器により検出された電気信号により画像用データを作成する制御演算部と、撮像条件ごとに登録された補正係数を保存する記録部を有する荷電粒子線装置において、 前記制御演算部は、 前記偏向手段により前記荷電粒子線を所定の量だけ偏向させ、前記試料上の同じマークの画像を、前記焦点位置変更手段により焦点位置を変えて複数枚数取得し、 取得した前記マークの画像における前記マークの位置ずれ量と、前記記録部に登録された補正係数に基づいて、前記荷電粒子線を前記所定の量だけ偏向させて計測用画像を取得する際に、前記荷電粒子線のランディング角が所望の値なるように光学条件を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (6件)：
H01J 37/147 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/22 ,  H01L 21/66 ,  G01B 15/04
FI (6件)：
H01J37/147 B ,  H01J37/153 B ,  H01J37/28 B ,  H01J37/22 502H ,  H01L21/66 J ,  G01B15/04 K
Fターム (32件)：
2F067AA21 ,  2F067AA54 ,  2F067BB01 ,  2F067BB04 ,  2F067CC15 ,  2F067FF12 ,  2F067FF14 ,  2F067FF15 ,  2F067GG01 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR33 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AB20 ,  4M106BA02 ,  4M106CA50 ,  4M106DH03 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  5C033FF06 ,  5C033FF08 ,  5C033FF10 ,  5C033JJ02 ,  5C033JJ05 ,  5C033JJ07 ,  5C033UU01 ,  5C033UU05 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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