特許
J-GLOBAL ID：201203077228510754
欠陥検出装置及び欠陥検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
亀谷 美明
, 金本 哲男
, 萩原 康司
, 松本 一騎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-229044
公開番号（公開出願番号）：特開2012-159491
出願日： 2011年10月18日
公開日（公表日）： 2012年08月23日
要約：
【課題】管状体の内表面に発生しうる凹凸疵及び模様系の疵を同時に検出すること。【解決手段】本発明に係る欠陥検出装置は、管状体の軸方向に沿って移動しながら管状体の内表面に対して環状のレーザ光を照射して環状ビーム画像を複数生成する管状体撮像装置と、生成された環状ビーム画像に対して画像処理を行い、管状体の内表面に欠陥が存在するかを判断する演算処理装置とを備え、演算処理装置は、各環状ビーム画像における環状のレーザ光の照射部分の重心位置を算出する環状ビームセンター算出部と、環状ビーム画像の座標系を変換して光切断画像を複数生成する座標変換部と、各光切断画像から生成された縞画像フレームに基づき管状体の内表面の凹凸状態を表す深さ画像及び管状体の内表面でのレーザ光の輝度分布を表す輝度画像を算出する画像算出部と、算出された深さ画像及び輝度画像に基づき内表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出部とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
管状体の軸方向に沿って移動しながら、当該管状体の内表面に対して環状のレーザ光を照射し、当該環状のレーザ光が照射された前記内表面を撮像することで前記内表面における前記環状のレーザ光の撮像画像である環状ビーム画像を、管状体の軸方向に沿って複数生成する管状体撮像装置と、
前記管状体撮像装置により生成された前記環状ビーム画像に対して画像処理を行い、前記管状体の内表面に欠陥が存在するかを判断する演算処理装置と、
を備え、
前記演算処理装置は、
それぞれの前記環状ビーム画像における前記環状のレーザ光の照射部分の重心位置を算出する環状ビームセンター算出部と、
算出された前記重心位置、及び、当該重心位置と前記環状のレーザ光の照射部分との離隔量に基づいて前記環状ビーム画像の座標系を変換し、それぞれの前記環状のレーザ光の照射部分を前記管状体の周方向に展開した線分である光切断線を含む帯状の領域である光切断画像を複数生成する座標変換部と、
前記光切断画像それぞれを前記軸方向に沿って順に配列させた縞画像フレームに基づいて、前記管状体の内表面の凹凸状態を表す深さ画像と、前記管状体の内表面における前記環状のレーザ光の輝度の分布を表す輝度画像と、を算出する画像算出部と、
算出された前記深さ画像及び前記輝度画像に基づいて、前記管状体の内表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出部と、
を有することを特徴とする、欠陥検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/954 A
, G01B11/30 A
2F065AA04
, 2F065AA17
, 2F065AA25
, 2F065AA27
, 2F065AA49
, 2F065AA60
, 2F065BB08
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF67
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL11
, 2F065MM07
, 2F065PP11
, 2F065QQ03
, 2F065QQ13
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
, 2F065QQ42
, 2F065SS02
, 2F065SS13
, 2G051AA82
, 2G051AB07
, 2G051AC17
, 2G051BA10
, 2G051CA04
, 2G051CD04
, 2G051EA09
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EC03
, 2G051ED23
, 2G051FA03
