特許
J-GLOBAL ID：201203079494726056
露光装置
出願人/特許権者：
株式会社ブイ・テクノロジー
株式会社ブイ・テクノロジー について
代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-199893
公開番号（公開出願番号）：特開2012-058388
出願日： 2010年09月07日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】マイクロレンズアレイを基板に対して移動させる露光装置において、マイクロレンズアレイの撓みの発生を防止することができ、マイクロレンズと基板との間のギャップを一定にすることができ、高精度のパターンを露光することができる露光装置を提供する。【解決手段】矩形状の面に2次元的にマイクロレンズ4aが配列されたマイクロレンズアレイ4は、その4辺でマイクロレンズアレイプレート3により支持されている。このマイクロレンズアレイプレート3はその長手方向に直交する方向に移動することにより、基板1の露光すべき領域が露光光で走査される。このマイクロレンズアレイプレートには、その少なくとも長手方向の中央を含む部分に、下方に向けて空気を吹き出す吹出部(多孔質部分5)が設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
矩形状の面に2次元的にマイクロレンズが配列されたマイクロレンズアレイと、このマイクロレンズアレイをその4辺で支持するマイクロレンズアレイプレートと、露光対象の基板が設置される基板設置部と、この基板設置部の上方で前記マイクロレンズアレイプレートを前記マイクロレンズアレイの長手方向に直交する方向であって前記基板の表面に平行の方向に移動させる駆動装置と、前記基板設置部の上方に前記マイクロレンズアレイを間に挟んで前記基板に対向するように配置されたマスクと、を有し、前記マイクロレンズアレイプレートには、その少なくとも長手方向の中央を含む部分に、下方に向けて空気を吹き出す吹出部が設けられていることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
引用特許：
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