特許
J-GLOBAL ID：201203080846216990

形状検査装置及び形状検査方法

発明者：
谷本 圭司

谷本 圭司 について


出願人/特許権者：
コアテック株式会社

コアテック株式会社 について


代理人 (4件)： 森 寿夫 ,  森 廣三郎 ,  松浦 瑞枝 ,  木村 厚
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-180509
公開番号（公開出願番号）：特開2012-037488
出願日： 2010年08月11日
公開日（公表日）： 2012年02月23日
要約：
【課題】良否判定の判定基準を自動設定し検査の効率を高めながら、判定の精度を確保することできる形状検査装置及び形状方法を提供する。【解決手段】被検査物20の形状を検査する形状検査装置10であって、被検査物20の検査結果を蓄積する蓄積手段と、判定基準に基いて、被検査物20の良否を判定する判定手段と、判定基準を設定する判定基準設定手段とを備えており、判定基準は、あらかじめ入力された算出手順と蓄積手段に蓄積された被検査物20の検査結果とに基いて、判定基準設定手段により自動設定される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査物の形状を検査する形状検査装置であって、 被検査物の検査結果を蓄積する蓄積手段と、 判定基準に基いて被検査物の良否を判定する判定手段と、 前記判定基準を設定する判定基準設定手段とを備えており、 前記判定基準は、あらかじめ入力された算出手順と前記蓄積手段に蓄積された被検査物の検査結果とに基いて、前記判定基準設定手段により自動設定されることを特徴とする形状検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G01N 21/892
FI (2件)：
G01B11/24 K ,  G01N21/892 Z
Fターム (31件)：
2F065AA23 ,  2F065AA52 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC15 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM16 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR05 ,  2F065RR09 ,  2G051AB07 ,  2G051AB10 ,  2G051AB13 ,  2G051BA10 ,  2G051BB03 ,  2G051BC06 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051EA14 ,  2G051EB02
引用特許：
審査官引用 (5件)
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