特許
J-GLOBAL ID：201203085050470527
ペリクルの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-200056
公開番号（公開出願番号）：特開2012-058400
出願日： 2010年09月07日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】温度変化を与えることなく、ペリクル膜の膜張力を向上する。【解決手段】基板30上に成膜した高分子材料からなるペリクル膜11を、開口部を有する枠体20にその開口面を覆うように貼り付ける第一の工程と、基板30から枠体20に貼り付けられたペリクル膜11を剥離する第二の工程と、枠体20のペリクル膜11を、開口部を有するペリクルフレーム10にその開口面を覆うように貼り付ける第三の工程と、をこの順に含む。第一の工程において枠体20の少なくとも1辺に枠体20の内側に向かう外力を加えて当該枠体20の辺を内側に変形させた状態でペリクル膜11を枠体20に貼り付ける。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板上に成膜した高分子材料からなるペリクル膜を、開口部を有する枠体にその開口面を覆うように貼り付ける第一の工程と、
前記基板から前記枠体に貼り付けられたペリクル膜を剥離する第二の工程と、
前記枠体のペリクル膜を、開口部を有するペリクルフレームにその開口面を覆うように貼り付ける第三の工程と、をこの順に含み、
前記第一の工程において前記枠体の少なくとも1辺に枠体の内側に向かう外力を加えて当該枠体の辺を内側に変形させた状態で前記ペリクル膜を前記枠体に貼り付ける、ペリクルの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2H095BC38
, 2H095BC39
, 3E096AA01
, 3E096BA30
, 3E096BB05
, 3E096CA30
, 3E096CB10
, 3E096DA08
, 3E096DB06
, 3E096EA02X
, 3E096EA02Y
, 3E096EA06X
, 3E096EA06Y
, 3E096FA09
, 3E096FA10
, 3E096GA04
, 3E096GA05
, 3E096GA11
