特許

J-GLOBAL ID：201203085600942464

レーザー干渉バンプ測定器

発明者： 伊東 雄大
出願人/特許権者： 株式会社アイ・テー・オー
代理人 (1件)： 光田 敦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-136896
公開番号（公開出願番号）：特開2012-002619
出願日： 2010年06月16日
公開日（公表日）： 2012年01月05日
要約：

【課題】物体光について光路長を変えて何度も多数の干渉縞を撮影する必要なく、バンプの高さ測定や形状検査を、簡単かつ正確に行うことを可能とする。【解決手段】2つの光源21、22からの互いに異なる波長の光を重ね合わせたビート光を、分割して、一方を参照ミラー28で反射させて参照光とし、他方をバンプ23に照射し反射させて物体とし、参照光と物体光を重畳し干渉させて生じる干渉縞をCCD30で撮影して、干渉縞像からバンプの高さ測定又は形状検査を可能とし、ビート光の波長Λ/2は、測定すべきバンプ23の設計仕様における高さより大きくなるように、2つの光源のそれぞれの波長λ1、λ2を設定する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

2つの光源と、ハーフミラーと、参照ミラーと、検出手段とを備えたレーザー干渉バンプ測定器であって、 2つの光源は、それぞれ互いに異なる波長の光を発光し、該互いに異なる波長の光は重ね合わされてビートさせてビート光として使用されるものであり、 ハーフミラーは、ビート光を分割し、分割されたビート光の一方を参照ミラーに向けるとともに、他方をバンプに向け、ビート光の一方は参照ミラーで反射されて参照光となり、他方はバンプで反射され物体光となり、 検出手段は、ハーフミラーを介して、参照ミラーからの参照光とバンプからの物体光が重畳された干渉光を受光し干渉縞像を検出し、該干渉縞像からバンプの高さ測定又は形状検査を可能とすることを特徴とするレーザー干渉バンプ測定器。

IPC (3件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/24 ,  G01B 9/02

FI (3件)：

G01B11/02 G ,  G01B11/24 D ,  G01B9/02

Fターム (45件)：

2F064AA01 ,  2F064AA09 ,  2F064CC04 ,  2F064EE02 ,  2F064FF01 ,  2F064FF03 ,  2F064FF05 ,  2F064FF06 ,  2F064FF07 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG44 ,  2F064GG52 ,  2F064GG61 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ05 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA33 ,  2F065AA47 ,  2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB07 ,  2F065CC26 ,  2F065DD03 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL62 ,  2F065NN05 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-174860   出願人：株式会社光コム
• 変位測定方法及びそれに用いる変位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-122716   出願人：住友金属鉱山株式会社