歪検知素子、および血圧センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤原康高
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-223175
公開番号（公開出願番号）：特開2012-078186
出願日： 2010年09月30日
公開日（公表日）： 2012年04月19日
要約：

【課題】本発明の実施形態によれば、感度よく検知できる歪検知素子、および圧力センサを提供することができる。【解決手段】磁化方向が変化可能で外部歪が印加されていない状態では磁化が膜面垂直方向を向いている磁化自由層と、磁化を有する参照層と、前記磁化自由層と前記参照層との間に設けられたスペーサー層と、を備えた積層膜と、前記積層膜の積層面に対して垂直方向に通電する一対の電極と、前記一対の電極の何れか一方に設けられた基板と、前記基板が歪むと、前記磁化自由層の磁化の回転角度と前記参照層の磁化の回転角度が異なることを特徴とする歪検知素子。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

磁化方向が変化可能で外部歪が印加されていない状態では磁化方向が膜面垂直方向を向いている磁化自由層と、磁化を有する参照層と、前記磁化自由層と前記参照層との間に設けられたスペーサー層と、を備えた積層体と、前記積層体の膜面垂直方向に通電する一対の電極と、前記一対の電極の何れか一方に設けられた基板と、前記基板が歪むと、前記磁化自由層の磁化の回転角度と前記参照層の磁化の回転角度が異なることを特徴とする歪検知素子または圧力検知素子。

IPC (6件)：

G01L 1/12 , H01L 43/08 , G01B 7/24 , G01L 9/16 , H01L 41/12 , G01B 7/16

FI (7件)：

G01L1/12 , H01L43/08 U , H01L43/08 Z , G01B7/24 , G01L9/16 , H01L41/12 , G01B7/16 Z

Fターム (60件)：

2F055AA05 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055EE29 , 2F055FF11 , 2F055GG11 , 2F063AA25 , 2F063BA29 , 2F063DA02 , 2F063DA05 , 2F063DD04 , 2F063DD07 , 2F063EC01 , 2F063EC14 , 2F063EC15 , 2F063EC26 , 2F063GA52 , 2F063GA55 , 2F063LA27 , 2F077AA18 , 2F077JJ09 , 2F077VV11 , 2F077VV33 , 2F077WW01 , 5F092AB10 , 5F092AC08 , 5F092AC12 , 5F092AD03 , 5F092AD06 , 5F092AD12 , 5F092AD23 , 5F092AD24 , 5F092BB04 , 5F092BB06 , 5F092BB10 , 5F092BB15 , 5F092BB17 , 5F092BB22 , 5F092BB31 , 5F092BB33 , 5F092BB34 , 5F092BB35 , 5F092BB36 , 5F092BB37 , 5F092BB42 , 5F092BB43 , 5F092BB45 , 5F092BB55 , 5F092BB81 , 5F092BB82 , 5F092BC03 , 5F092BC04 , 5F092BC07 , 5F092BC13 , 5F092BC18 , 5F092BC19 , 5F092BC33 , 5F092BC39 , 5F092BC42

引用特許：

出願人引用 (5件)

磁性膜センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-230674 出願人：ヘッドウェイテクノロジーズインコーポレイテッド, 新科實業有限公司, 島沢幸司
応力センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-164585 出願人：松下電器産業株式会社
応力センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-164586 出願人：松下電器産業株式会社

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審査官引用 (5件)

磁性膜センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-230674 出願人：ヘッドウェイテクノロジーズインコーポレイテッド, 新科實業有限公司, 島沢幸司
応力センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-164585 出願人：松下電器産業株式会社
応力センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-164586 出願人：松下電器産業株式会社

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