蒸着材料

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-218577
公開番号（公開出願番号）：特開2012-072456
出願日： 2010年09月29日
公開日（公表日）： 2012年04月12日
要約：

【課題】高速成膜可能でバリア性・透明性に優れ、蒸着時のスプラッシュ発生を抑制した蒸着材料および、その蒸着材料を用いたガスバリアフィルムの製造方法を提供する。【解決手段】特定の酸化スズ系の蒸着材料が、上述の課題を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。二酸化スズと一酸化スズとを含有し、酸素とスズの原子比(O/Sn比)が1より大きく、1.8未満であり、見掛け密度が1.5〜4.0g/cm3であることを特徴とする蒸着材料を電子ビーム加熱方式により、樹脂基材上にガスバリア層を500nm/分〜12000nm/分で真空蒸着により成膜する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

二酸化スズと一酸化スズを主成分とし、酸素とスズの原子比(O/Sn比)が1より大きく、1.8未満であり、見掛け密度が1.5〜4.0g/cm3であることを特徴とする電子ビーム加熱方式用の蒸着材料。

IPC (4件)：

C23C 14/24 , C23C 14/08 , C04B 35/457 , B32B 9/00

FI (4件)：

C23C14/24 E , C23C14/08 D , C04B35/00 R , B32B9/00 A

Fターム (37件)：

4F100AA20A , 4F100AA28A , 4F100AK01B , 4F100AK42 , 4F100BA02 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100EH66A , 4F100GB15 , 4F100GB23 , 4F100JA13A , 4F100JD02A , 4F100JM02A , 4F100JN01 , 4F100YY00A , 4G030AA37 , 4G030AA39 , 4G030AA64 , 4G030BA15 , 4G030BA32 , 4G030GA11 , 4G030GA13 , 4G030GA20 , 4G030GA22 , 4G030GA27 , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA47 , 4K029BC01 , 4K029CA01 , 4K029DB05 , 4K029DB08 , 4K029DB21 , 4K029EA02 , 4K029JA10 , 4K029KA03

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-017252
ガスバリアフィルム及びその製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-163829 出願人：東洋紡績株式会社
薄膜形成用材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-084431 出願人：三井金属鉱業株式会社

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