特許
J-GLOBAL ID：201203093194475119
高電子エネルギベースのオーバーレイ誤差測定方法及びシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
, 上杉 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-159378
公開番号（公開出願番号）：特開2012-244142
出願日： 2011年07月01日
公開日（公表日）： 2012年12月10日
要約：
【課題】高電子エネルギベースのオーバーレイ誤差測定方法及びシステムを提供する。【解決手段】方法、システム、及びコンピュータ可読媒体を提供する。本方法は、被検物の第1の層の第1の区域を表す第1区域の情報を取得するか又は受け取る段階であって、被検物が、第1の層の下に埋め込まれて第2の区域を含む第2の層を更に含む段階と、第1の区域と相互作用するように1次電子ビームの電子を誘導する段階と、第2の区域と相互作用するように1次電子ビームの電子を誘導する段階と、第1及び第2の区域のうちの少なくとも一方から散乱又は反射された電子に応答して検出信号を発生させる段階と、検出信号と第1区域の情報とに基づいて、第1区域の少なくとも1つの特徴部と第2区域の少なくとも1つの特徴部の間の少なくとも1つの空間関係を判断する段階とを含む。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
オーバーレイを評価する方法であって、
被検物の第1の層の第1の区域を表す第1区域の情報を取得するか又は受け取る段階であって、該被検物が、該第1の層の下に埋め込まれて第2の区域を含む第2の層を更に含む段階と、
前記第1の区域と相互作用するように1次電子ビームの電子を誘導する段階と、
前記第2の区域と相互作用するように前記1次電子ビームの電子を誘導する段階と、
前記第1及び第2の区域のうちの少なくとも一方から散乱又は反射された電子に応答して検出信号を発生させる段階と、
前記検出信号と前記第1区域の情報とに基づいて、該第1区域の少なくとも1つの特徴部と前記第2区域の少なくとも1つの特徴部の間の少なくとも1つの空間関係を判断する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, H01L 21/66
H01L21/30 525W
, G03F7/20 504
, H01L21/66 J
2H097CA16
, 2H097KA40
, 2H097LA10
, 4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA39
, 5F146FC03
, 5F146FC04
, 5F146FC10
