特許
J-GLOBAL ID：201203094834287329

樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者：
市川 幸司

市川 幸司 について

, 
嶋田 雅彦

嶋田 雅彦 について

, 
西村 崇

西村 崇 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-210284
公開番号（公開出願番号）：特開2012-180499
出願日： 2011年09月27日
公開日（公表日）： 2012年09月20日
要約：
【課題】優れたラインエッジラフネスを有するレジストパターンを得ることができるレジスト組成物及び該レジスト組成物に含有される樹脂を提供する。【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂[式(I)中、R1は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。A1は、単結合、*-A2-O-、*-A2-CO-O-、*-A2-CO-O-A3-CO-O-又は*-A2-O-CO-A3-O-を表す。*は-O-との結合手を表す。A2及びA3は、それぞれ独立に、炭素数1〜6のアルキレン基を表す。]、当該樹脂を含有するレジスト組成物の提供。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
式(I)で表される構造単位を有する樹脂。
IPC (3件)：
C08F 20/28 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
C08F20/28 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (37件)：
2H125AF18P ,  2H125AF38P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA03R ,  4J100BA11P ,  4J100BC04S ,  4J100BC09P ,  4J100BC09R ,  4J100BC09T ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100DA02 ,  4J100DA39 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM