特許

J-GLOBAL ID：201103089430519195

ホモアダマンタン誘導体、その製造方法及びフォトレジスト用感光性材料

発明者： 田中 慎司 ,  上野山 義崇 ,  大野 英俊 ,  河野 直弥 ,  伊藤 克樹
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (3件)： 渡辺 喜平 ,  田中 有子 ,  佐藤 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-086352
公開番号（公開出願番号）：特開2011-219363
出願日： 2010年04月02日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：

【課題】ポジ型フォトレジストとして用いたときに、ラフネス低減、溶解性、相溶性、ディフェクト低減、露光感度等に優れる重合体、これを与える単量体(モノマー)及びその前駆体(中間体,修飾剤)を提供する。【解決手段】下記式(I)で表されるホモアダマンタン誘導体。式中、R1,R2はそれぞれ水素原子又は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状又は環状の炭化水素基を表し、Xは水酸基又はハロゲン原子を表し、n,mはそれぞれ0〜3の整数である。ただし、nとmが同時に0になることはない。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(I)で表されるホモアダマンタン誘導体。

IPC (4件)：

C07D 313/06 ,  G03F 7/039 ,  C08F 20/26 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C07D313/06 ,  G03F7/039 601 ,  C08F20/26 ,  H01L21/30 502R

Fターム (27件)：

2H125AF17P ,  2H125AF36P ,  2H125AH17 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AN39P ,  2H125CA12 ,  2H125CB08 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4C062JJ15 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA02P ,  4J100BA03R ,  4J100BA11P ,  4J100BA15P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC53P ,  4J100CA05 ,  4J100FA03 ,  4J100FA18 ,  4J100GC35 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 脂環構造含有化合物、(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリル系重合体並びにそれを含むポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-135927   出願人：出光興産株式会社
• ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法および高分子化合物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-027467   出願人：東京応化工業株式会社
• 感光性組成物及びパタ-ン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-070591   出願人：株式会社東芝
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-188415   出願人：富士写真フイルム株式会社