特許
J-GLOBAL ID：201203097118075514

はんだペースト用印刷装置

発明者：
宇野 浩規

宇野 浩規 について

, 
石川 雅之

石川 雅之 について

, 
増田 昭裕

増田 昭裕 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-154462
公開番号（公開出願番号）：特開2012-019000
出願日： 2010年07月07日
公開日（公表日）： 2012年01月26日
要約：
【課題】ファインピッチ用はんだペーストを用いた場合であっても、当該はんだペーストが基板とマスクとの間に入り込むことを防止し、バンプのにじみや、ブリッジ等の発生を低減することができ、これによって精度の高い印刷を行う。【解決手段】ステージ3上に保持された基板2の上面にマスク5を接触させ、マスク5上にはんだペースト4を載せた状態で、マスク5の上面に沿ってスキージ13を移動させることによって、はんだペースト4を基板2に印刷するはんだペースト用印刷装置1であって、マスク5は磁性材料からなり、ステージ3には基板2を介してマスク5を吸着するための電磁石6が設けられている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ステージ上に保持された基板の上面にマスクを接触させ、該マスク上にはんだペーストを載せた状態で、前記マスクの上面に沿ってスキージを移動させることによって、前記はんだペーストを前記基板に印刷するはんだペースト用印刷装置であって、前記マスクは磁性材料からなり、前記ステージには前記基板を介して前記マスクを吸着するための磁石が設けられていることを特徴とするはんだペースト用印刷装置。
IPC (2件)：
H05K 3/34 ,  B23K 3/06
FI (2件)：
H05K3/34 505D ,  B23K3/06 W
Fターム (6件)：
5E319AA03 ,  5E319BB05 ,  5E319CC33 ,  5E319CD29 ,  5E319GG01 ,  5E319GG03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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