特許
J-GLOBAL ID：201203097460224475

成膜方法、金属ベース層付樹脂フィルムの製造方法及びスパッタリング装置

発明者：
大上 秀晴

大上 秀晴 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-169007
公開番号（公開出願番号）：特開2012-026025
出願日： 2010年07月28日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：
【課題】平面性に優れかつ生産性にも優れる両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムを効率よく製造できる成膜方法及びスパッタリング装置を提供する。【解決手段】この第1成膜工程に続いて、上記他方の面(第1成膜面)を第2冷却ロール39に接触させて冷却すると共に、この接触している他方の面とは反対側の一方の面(第2成膜面)に成膜する(第2成膜工程)。この第2成膜工程に続いて、上記一方の面(第2成膜面)を第3冷却ロール40に接触させて冷却すると共に、この接触している一方の面とは反対側の他方の面に成膜する(第3成膜工程)。これらの工程を順に繰り返しながら、耐熱性樹脂フィルム32に複数の薄膜を重ねて成膜する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
長尺樹脂フィルムが巻き回された巻出ロールから巻き出された前記長尺樹脂フィルムの一方の面が第1冷却ロールに接触して冷却されると共に、この接触している一方の面とは反対側の他方の面に成膜する第1成膜工程と、 該第1成膜工程に続いて、前記他方の面を第2冷却ロールに接触させて冷却すると共に、この接触している他方の面とは反対側の一方の面に成膜する第2成膜工程と、 該第2成膜工程に続いて、前記一方の面を第3冷却ロールに接触させて冷却すると共に、この接触している一方の面とは反対側の他方の面に成膜する第3成膜工程とを順に繰り返しながら、前記長尺樹脂フィルムの両面に複数の薄膜を重ねて成膜することを特徴とする成膜方法。
IPC (4件)：
C23C 14/14 ,  C23C 14/56 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/38
FI (4件)：
C23C14/14 G ,  C23C14/56 D ,  H05K3/00 R ,  H05K3/38 C
Fターム (21件)：
4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA08 ,  4K029BA25 ,  4K029BB02 ,  4K029BB04 ,  4K029CA05 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03 ,  5E343AA03 ,  5E343AA18 ,  5E343AA33 ,  5E343BB16 ,  5E343BB24 ,  5E343BB44 ,  5E343BB52 ,  5E343BB67 ,  5E343DD25 ,  5E343EE32 ,  5E343EE42 ,  5E343GG11
引用特許：
審査官引用 (5件)
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