- 2023 - 2026 光電融合LSIへ向けた絶縁膜上におけるGe系光学材料の結晶成長と光電デバイス応用
- 2021 - 2025 Si-Ge系ヘテロ接合ナノワイヤによる縦型ナノワイヤHEMTデバイスの開発
- 2020 - 2023 GeSn/Ge縦型ヘテロ接合ナノワイヤの実現と次世代トランジスタへの応用
- 2021 - 2022 レーザーアニールを用いたGeSn結晶薄膜の非熱平衡成長とトランジスタ応用
- 2020 - 2021 GeSn ナノワイヤトランジスタによる次世代多機能LSI 基盤技術の創製
- 2017 - 2019 絶縁基板上におけるボトムアップ型Siナノワイヤ成長技術の創製
- 2016 - 2019 次世代LSIの実現へ向けた 高性能ゲルマニウム・スズ・トランジスタの創製
- 2014 - 2016 異種機能融合型LSIの構築へ向けたIV族系ヘテロ構造の創製
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