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J-GLOBAL ID：201302202124921836   整理番号：13A0637095

スリット-直方体電極対を用いた交流電気浸透マイクロポンプの特性評価

著者 (5件)： 吉田和弘 (東京工大 精密工研) ,  佐藤智之 (東京工大 大学院) ,  EOM Sang In (東京工大 精密工研) ,  KIM Joonwan (東京工大 精密工研) ,  横田眞一 (東京工大 精密工研)
資料名： 日本機械学会関東支部・精密工学会山梨講演会講演論文集  (日本機械学会・精密工学会山梨講演会講演論文集)
巻： 2012  ページ： 18-19  発行年： 2012年10月27日 
JST資料番号： X0828A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 交流電気浸透は交流電圧の印加で水などの液体に対流が生じる現象である。これは可動部のない単純な構造で発生でき,電気分解を生じにくい低電圧交流で動作するという特長がある。著者らはすでに,管状電極と平板電極を対向させた構造で,一方向流れを生み出すマイクロポンプを提案し,シミュレーションによりその妥当性を確認している。本報では,その特性を詳細に検討するため,上記の構造を2.5次元構造に展開したスリット-直方体電極対を有するマイクロポンプをMEMS技術により試作し,実験的に特性評価している。(著者抄録)

シソーラス用語： 間隙 ,  直方体 ,  電極 ,  交流 ,  *電気浸透 ,  *ポンプ ,  キャラクタリゼーション ,  対流 ,  平板 ,  MEMS ,  *マイクロマシン ,  電圧 ,  シミュレーション

分類 (1件)： ポンプ,各種揚水装置  (QD05030P)

タイトルに関連する用語 (7件)： スリット ,  直方体 ,  電極対 ,  交流 ,  電気浸透 ,  マイクロポンプ ,  特性評価