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J-GLOBAL ID：201302204377842927   整理番号：13A1337385

ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測(第1報)-トルエン原料ガスを用いたバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜-

Evaluation and Prediction of Mechanical Properties of DLC Films by Raman Spectroscopy (Part 1)-DLC Films Prepared by Bipolar PBII&D with a Source Gas of Toluene-

著者 (4件)： CHOI Junho (東大 大学院工学系研究科) ,  石井啓資 (東大 大学院工学系研究科) ,  加藤孝久 (東大 大学院工学系研究科) ,  川口雅弘 (東京都産業技術研究セ)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 58  号： 8  ページ： 596-602  発行年： 2013年08月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,バイポーラPBII&D法(バイポーラ型プラズマ利用イオン注入成膜法)により成膜パラメータを変化させて作成したDLC膜の機械特性評価,組成分析およびラマン分光分析を行い,ラマンパラメータと膜の機械的特性,組成との相関を新たに見出すことを目的とした。また対象物が複雑な三次元形状である場合,従来の膜の評価手法はほとんど適用できなくなるので,本研究ではDLC膜の構造,機械特性および組成を予測する手法としてラマンスペクトルの有用性を検証した。これにより得た主な知見を次に示した。1)バイポーラPBII法により成膜したDLC膜の構造・機械的特性の相関を整理した結果,硬さは正パルス電圧が1~2kV,負パルス電圧が-5kVで最大であること,2)Gピーク半値幅はGピークシフトに対して1540cm^-1付近で極大値を持つように変化し,DLC膜の構造はその前後で2分化(GLC⇔DLCとPLC⇔DLC)すること,3)GピークのN/S比およびm/I(G)は水素濃度と強い相関があること,4)Gピーク半値幅に対して密度,硬さ,内部応力は強い相関があること,5)ラマンGピークの半値幅から三次元部材に成膜されたDLC膜の硬さの予測ができること。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *Raman分光法 ,  *イオン注入 ,  *機械的性質 ,  Ramanスペクトル ,  *構造特性 ,  性能評価 ,  水素 ,  硬度 ,  密度 ,  アルキルベンゼン
準シソーラス用語： *PBII法【プラズマ】 ,  水素濃度

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  分光法と分光計一般  (BD07041Q)

物質索引 (1件)： トルエン

引用文献 (12件)：

• 1) C. DONNET & A. ERDEMIR Ed. : Tribology of Diamond-Like Carbon Films, Springer (2008).
• 2) S. MIYAGAWA, S. NAKAO, M. IKEYAMA & Y. MIYAGAWA : Deposition of Diamond-Like Carbon Films using Plasma Based Ion Implantation with Bipolar Pulses, Surf. Coat. Technol., 156 (2002) 322.
• 3) 関東学院大学表面工学研究所編 : 最先端表面処理技術のすべて, 工業調査会 (2006).
• 4) R. E. SHRODER, R. J. NEMANICH & J. T. GLASS : Analysis of the Composite Structures in Diamond Thin Films by Raman Spectroscopy, Phys. Rev. B, 41 (1990) 3738.
• 5) A. C. FERRARI & J. ROBERTSON : Interpretation of Raman Spectra of Disordered and Amorphous Carbon, Phys. Rev. B, 61 (2000) 14095.

タイトルに関連する用語 (8件)： ラマン分光法 ,  DLC膜 ,  機械特性 ,  評価 ,  予測 ,  トルエン ,  原料ガス ,  バイポーラ