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J-GLOBAL ID：201302206132638928   整理番号：12A1811741

走査電子誘導音響顕微鏡を用いた内部微小欠陥の非破壊観察

Non-Destructive Observations of Internal Micro-Defects Using Scanning Electron-Induced Acoustic Microscope

著者 (2件)： KOYAMA Atsuhiro (Div. of System Sci., Graduate School of Engineering, Nagasaki Univ.) ,  SHIBUTANI Yoji (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ.)
資料名： Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web)  (Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web))
巻： 6  号： 6  ページ： 512-518 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： U0026A  ISSN： 1880-9871  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 材料の内部微細構造の非破壊観察用に走査電子誘導音響顕微鏡SEAMを開発した。これは高電流電子ビームをパルスにする電子チョッパーと縦音波の検出器から成り,両方を走査電子顕微鏡SEMに取り付けた。電子ビームを数百kHzのきわめて高い周波数でサイクリックにチョッピングすると短周期のサイクリック温度上昇による熱波ができる。熱波の波長は熱応力波より小さいためSEAM分解能を決め,欠陥としての変化により熱波乱れ情報を伝達する役割をする。SEAMは試片内の熱特性の局部的な差を感知するので,微小ボイドのような内部欠陥を観察する性能が最良である。本報では焼結した材料にある数ミクロン規模の微小ボイドの非破壊観察が示され,集束イオンビームを使った破壊観察で確認された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  *音響顕微鏡 ,  *内部欠陥 ,  *非破壊検査 ,  電子ビーム ,  異常気象 ,  集束イオンビーム ,  微小亀裂
準シソーラス用語： パルス電子ビーム ,  熱波

分類 (1件)： 非破壊試験  (HB02030F)

引用文献 (10件)：

• (1) Y. Shibutani, A. Koyama and T. Shiota, “Non-Destructive Observations of Internal Microstructures of Materials by Scanning Electron-Induced Acoustic Microscope”, Journal of the Society of Materials Science, Japan, Vol.55, No.1, pp.95-100 (2006).
• (2) G. S. Cargill III, “Ultrasonic imaging in scanning electron microscope”, Nature, 286, pp.691-693 (1980).
• (3) E. Brandis and A. Rosencwaig, “Thermal-wave microscope with electron beams”, Applied Physics Letters, 37, pp.98-100 (1980).
• (4) A. Rosencwaig, “Thermal-Wave Imaging”, Science, 218, pp.223-228 (1982).
• (5) H. Takenoshita, “Nondestructive Internal Observation of Metal-Oxide-Semiconductor LSI Designed by 0.8mm Rule”, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.39, No.9A, pp.5312-5315 (2000).

タイトルに関連する用語 (7件)： 走査 ,  電子 ,  誘導 ,  音響顕微鏡 ,  微小 ,  欠陥 ,  観察