ミストCVD法により製膜したAlO<sub>x</sub>膜のパッシベーション特性

井口功嗣; 井口功嗣; 三木祥平; 三木祥平; 今枝博紀; 今枝博紀; 酒井智香子; 酒井智香子; 吉田晴彦; 吉田晴彦; 堀田育志; 堀田育志; 小椋厚志; 小椋厚志; 佐藤真一; 佐藤真一; 新船幸二; 新船幸二

文献

J-GLOBAL ID：201302209968903668 整理番号：13A1723185

ミストCVD法により製膜したAlO_x膜のパッシベーション特性

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資料名：
巻： 74th ページ： ROMBUNNO.19A-A4-2 発行年： 2013年08月31日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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光伝導,光起電力

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ミストCVD法により製膜したAlOx膜のパッシベーション特性

ミストCVD法により製膜したAlO_x膜のパッシベーション特性