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J-GLOBAL ID：201302211569879391   整理番号：13A0811172

シリコンベース電界エミッター配列から供給される低エネルギー電子による高電流低エネルギーイオンビーム上の空間電荷の中和化

Neutralization of space charge on high-current low-energy ion beam by low-energy electrons supplied from silicon based field emitter arrays

著者 (7件)： GOTOH Yasuhito (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  TSUJI Hiroshi (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  TAGUCHI Shuhei (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  IKEDA Keita (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  KITAGAWA Takayuki (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  ISHIKAWA Junzo (Chubu Univ., Aichi, JPN) ,  SAKAI Shigeki (Nissin Ion Equipment Co., Ltd., Kyoto, JPN)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 1496  ページ： 368-371  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (8件)： シリコン ,  電界エミッター ,  エネルギー電子 ,  高電流 ,  低エネルギー ,  イオンビーム ,  空間電荷 ,  中和