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J-GLOBAL ID：201302222748581739   整理番号：13A1698563

プラズマによる短波長光源研究の進展とその物理 2.原子過程と輻射流体

著者 (3件)： 佐々木明 (日本原子力研究開発機構) ,  砂原淳 (レーザー技術総合研) ,  西原功修 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 89  号： 10  ページ： 654-658  発行年： 2013年10月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在,実用化に向けた開発が進められている,リソグラフィ用EUV光源の原子過程と輻射流体について議論する。これまでの研究で明らかになった,Snプラズマの特性と,それを解析するための手法について述べ,現在の重要な研究課題と考えられている,高効率化および短波長化の見通しについて述べる。ダブルパルスレーザー照射によって,最適な温度,密度をもつプラズマを生成する可能性について検討する。希土類原子の4d-4f遷移を用いた短波長光源の予測される特性を示す。また,原子過程,輻射流体の観点で,モデリングの課題について議論する。(著者抄録)

シソーラス用語： *フォトリソグラフィー ,  真空紫外線 ,  *光源 ,  プラズマ源 ,  過程 ,  レーザプラズマ ,  極端紫外線 ,  プラズマ生成 ,  モデリング ,  スズ ,  流体力学
準シソーラス用語： EUV ,  EUVリソグラフィー ,  *EUV光源 ,  プラズマ光源 ,  原子過程 ,  輻射流体力学

分類 (1件)： 光源,照明器具  (NB12020F)

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ ,  短波 ,  研究 ,  進展 ,  物理 ,  原子過程 ,  輻射 ,  流体