応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
窒化ガリウム について
薄膜 について
転位【結晶】 について
切削 について
MOCVD について
基板 について
ウエハ【IC】 について
螺旋転位 について
歪 について
エピタキシャル膜 について
ダイシング加工 について
MOVPE について
サファイア基板 について
半導体薄膜 について
半導体の格子欠陥 について
固体デバイス製造技術一般 について
GaN について
エピタキシャル膜 について
転位 について
相関性 について