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J-GLOBAL ID：201302229669198991   整理番号：13A1641119

テトラメチルシラン前駆体を用いた超疎水性被膜の大気圧rfプラズマ蒸着

Atmospheric rf plasma deposition of superhydrophobic coatings using tetramethylsilane precursor

著者 (7件)： MARCHAND David J. (Dep. of Chemical Engineering and Materials Res. Inst., The Pennsylvania State Univ., Univ. Park, PA 16802, USA) ,  DILWORTH Zachary R. (Dep. of Chemical Engineering and Materials Res. Inst., The Pennsylvania State Univ., Univ. Park, PA 16802, USA) ,  STAUFFER Robert J. (Dep. of Chemical Engineering and Materials Res. Inst., The Pennsylvania State Univ., Univ. Park, PA 16802, USA) ,  HSIAO Erik (Dep. of Chemical Engineering and Materials Res. Inst., The Pennsylvania State Univ., Univ. Park, PA 16802, USA) ,  KIM Jeong-hoon (SPS Co., Ltd., #305 Sinwoo Plaza, 83 Banwol-dong, Hwaseong-Si, Gyeonggi-do, 445-330, KOR) ,  KANG Jung-gu (SPS Co., Ltd., #305 Sinwoo Plaza, 83 Banwol-dong, Hwaseong-Si, Gyeonggi-do, 445-330, KOR) ,  KIM Seong H. (Dep. of Chemical Engineering and Materials Res. Inst., The Pennsylvania State Univ., Univ. Park, PA 16802, USA)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 234  ページ： 14-20  発行年： 2013年11月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： テトラメチルシラン(TMS)前駆体を用いた大気圧rfグロー放電プラズマ蒸着のワンステップ法を用いて超疎水特性を示す非フッ素系有機-無機ハイブリッド被膜を作製した。プラズマは空気中Heにより発生させ,前駆体濃度はHeキャリアガスの0.01-0.04vol.%であった。大気圧プラズマ中のTMSの分解は気相凝集反応により粒子の形成を伴い,それは,平坦なウエハ,紙および綿布を含む様々な基板上にどの様な試料の前処理も無く~30-80nm領域の2乗平均平方根粗さと~150°-165°の水接触角を持つ有機-無機ハイブリッド被膜をもたらした。大気圧プラズマ中の環境分子(酸素,窒素および水)の励起および分解により,作製した被膜はシリコンと炭化水素基に加えて酸素と窒素を含んでいた。膜中の酸素種はシリコーン化合物と類似のSi-O-Siネットワークの一部を呈した。同じ大気圧プラズマ法で蒸着した純粋な炭化水素ベースの膜と比較して,TMSにより作製した膜は改善された環境耐久性を示した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 母材 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  ガラス ,  前駆体 ,  気圧 ,  プラズマ ,  *高周波放電 ,  グロー放電 ,  *プラズマCVD ,  *疎水性 ,  *有機-無機ハイブリッド ,  *皮膜 ,  紙 ,  綿布 ,  表面粗さ ,  接触角 ,  耐久性 ,  *有機ケイ素化合物 ,  *プラズマ重合
準シソーラス用語： RFプラズマ ,  Siウエハ ,  グロー放電プラズマ ,  プラズマ蒸着 ,  基材 ,  水接触角 ,  大気圧 ,  超疎水性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  放射線重合  (CG04060K)

物質索引 (1件)： テトラメチルシラン

タイトルに関連する用語 (7件)： テトラメチルシラン ,  前駆体 ,  疎水性 ,  被膜 ,  大気圧 ,  RFプラズマ ,  蒸着