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J-GLOBAL ID：201302232395330767   整理番号：13A0092867

ナノ複合化が実現する新規ガラス精密研磨用砥粒の開発

著者 (4件)： 本間隆行 (ファインセラミックスセ 材料技研) ,  川原浩一 (ファインセラミックスセ 材料技研) ,  須田聖一 (静岡大 工) ,  須田聖一 (ファインセラミックスセ)
資料名： 未来材料  (Expected Materials for the Future)
巻： 13  号： 1  ページ： 48-52  発行年： 2013年01月10日 
JST資料番号： L4328A  ISSN： 1346-0986  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガラスの精密研磨用途として,CeO₂を主成分とする砥粒が用いられているが,代替材料開発ならびに砥粒の高性能化が必要とされている。ガラスとの化学反応性と機械研磨性に優れた材料によるナノレベルでの複合化によって,CeO₂を使用せずとも高い化学機械研磨特性が得られた。(著者抄録)

シソーラス用語： *ガラス ,  *精密研削 ,  *酸化セリウム ,  ナノテクノロジー ,  *砥粒 ,  反応性 ,  *化学研磨 ,  *代替案 ,  開発 ,  酸化ストロンチウム ,  酸化ジルコニウム ,  一次構造 ,  粒度依存性 ,  *化学機械研磨 ,  組成依存性 ,  *機械工作
準シソーラス用語： *CMP【化学研磨】 ,  化学反応性 ,  材料開発 ,  精密研磨 ,  複合化

分類 (4件)： 研削・研摩材  (YC06020Q) ,  その他の表面処理  (WC08070F) ,  ガラスの製造  (YC02020O) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

引用文献 (13件)：

• 1) L.M. Cook: J. Non-Cryst. Solids, 120, 152 (1990).
• 2) R. Sabia, H.J. Stevens: Mach. Sci. Tech., 4, 235 (2000).
• 3) T. Hoshino, Y. Kurata, Y. Terasaki, K. Susa: J. Non-Cryst. Solids, 283, 129 (2001).
• 4) P. Suphantharida, K. Osseo -Asare: J. Electrochem. Soc., 151, G658 (2004).
• 5) IEIVIIM2007-61989.

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノ複合 ,  ガラス ,  精密研磨 ,  砥粒 ,  開発