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J-GLOBAL ID：201302233372664176   整理番号：13A0038156

4×4/2×2ピクセル単結晶シリコン連続膜変形可能ミラーの製造

Fabrication of a 4×4/2×2 pixel single-crystal-silicon continuous membrane deformable mirror

著者 (4件)： WU Tong (東北大 大学院工学研究科) ,  SASAKI Takashi (東北大 大学院工学研究科) ,  AKIYAMA Masayuki (東北大 大学院理学研究科) ,  HANE Kazuhiro (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集  (応用物理学会東北支部学術講演会論文集)
巻： 67th  ページ： 142-143  発行年： 2012年12月06日 
JST資料番号： L1473A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *単結晶 ,  天体観測 ,  MEMS ,  *反射鏡 ,  マイクロマシニング ,  *薄膜
準シソーラス用語： *MEMSミラー ,  形状可変ミラー

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (3件)： ピクセル ,  単結晶シリコン ,  ミラー