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J-GLOBAL ID：201302240289340586   整理番号：12A1800900

DPAT法によるミクロパターン剥離におけるミクロカンチレバーの動き

Micro Cantilever Motion in Micro Pattern Peeling by DPAT Method

著者 (2件)： AIBA Takashi (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  KAWAI Akira (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 25  号： 6  ページ： 729-733  発行年： 2012年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： DPAT(AFMチップを用いることによる直接剥離)法はミクロ構造の剥離力の直接測定を行う。様々な剥離高さでのミクロポリマパターンの剥離力を解析する。カンチレバーがパターンの底に接触する時に,カンチレバーの剥離力と変位はパターン頂部のそれらよりも大きい。カンチレバーの動きを様々な剥離高さでの剥離現象を解析する。パターンの剥離力を約1μNと決定する。パターンの底に負荷された剥離力は接着力を反映する。DPATの方法の有効性と精度を考察する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *片持梁 ,  *微細構造 ,  *力 ,  剥離試験 ,  *高分子薄膜 ,  ポリスチレン ,  依存性 ,  変位 ,  接着強さ
準シソーラス用語： 高さ依存性 ,  *剥離力

分類 (1件)： 高分子固体の力学的性質  (CG02023D)

引用文献 (5件)：

• 1. A. Kawai, Y. Kawakami, J. Adhes. Soc. Jpn., 36 9 (2000).
• 2. A. Kawai, Proc. SPIE, 3677 (1999) 565.
• 3. B. Bhushan, Handbook of Micro/Nano Tribology Second Edition, p. 86, CRC Press Florida (1999).
• 4. J. P. Cleveland, and S. Manne, Rev. Sci. Instrum., 64 (2) 403.
• 5. A. Kawai, J. Photopolym. Sci. Technol, 18 (6) (2005) 729.

タイトルに関連する用語 (4件)： DPAT ,  ミクロパターン ,  カンチレバー ,  動き