NICHAU A. について
Peter Gruenberg Inst. 9 (PGI9-IT), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
NICHAU A. について
JARA - Fundamentals of Future Information Technologies, DEU について
SCHAEFER A. について
Peter Gruenberg Inst. 9 (PGI9-IT), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
SCHAEFER A. について
JARA - Fundamentals of Future Information Technologies, DEU について
KNOLL L. について
Peter Gruenberg Inst. 9 (PGI9-IT), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
KNOLL L. について
JARA - Fundamentals of Future Information Technologies, DEU について
WIRTHS S. について
Peter Gruenberg Inst. 9 (PGI9-IT), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
WIRTHS S. について
JARA - Fundamentals of Future Information Technologies, DEU について
SCHRAM T. について
imec, 3001 Leuven, BEL について
RAGNARSSON L.-a. について
imec, 3001 Leuven, BEL について
SCHUBERT J. について
Peter Gruenberg Inst. 9 (PGI9-IT), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
SCHUBERT J. について
JARA - Fundamentals of Future Information Technologies, DEU について
BERNARDY P. について
Peter Gruenberg Inst. 9 (PGI9-IT), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
BERNARDY P. について
JARA - Fundamentals of Future Information Technologies, DEU について
LUYSBERG M. について
JARA - Fundamentals of Future Information Technologies, DEU について
LUYSBERG M. について
Peter Gruenberg Inst. 5 and Ernst Ruska-Centre (ER-C) for Microscopy and Spectroscopy with Electrons ... について
BESMEHN A. について
Central Div. for Engineering, Electronics and Analytics (ZEA-3), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
BREUER U. について
Central Div. for Engineering, Electronics and Analytics (ZEA-3), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
BUCA D. について
Peter Gruenberg Inst. 9 (PGI9-IT), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
BUCA D. について
JARA - Fundamentals of Future Information Technologies, DEU について
MANTL S. について
Peter Gruenberg Inst. 9 (PGI9-IT), Forschungszentrum Juelich, 52425 Juelich, DEU について
MANTL S. について
JARA - Fundamentals of Future Information Technologies, DEU について
Microelectronic Engineering について
誘電体 について
ゲート【半導体】 について
酸化ハフニウム について
膜厚 について
二酸化ケイ素 について
境界層 について
酸化膜 について
酸化還元反応 について
掃気 について
容量電圧特性 について
X線光電子分光法 について
ゲート絶縁膜 について
EOT について
XPS について
メタルゲート について
二酸化シリコン について
界面層 について
高k誘電体 について
等価酸化膜厚 について
固体デバイス製造技術一般 について
Si について
メタルゲート について
Al について
掃気 について
二酸化シリコン について
界面層 について
EOT について