抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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誘導結合型無電極ランプにおける135kHzにおける始動状況を解明するために,容量結合型プラズマ(E放電)を観察した。135Hz点灯の無電極ランプに印加する電圧を増加させて始動前の微放電の状況を観察した結果,局所的な微放電プラズマがコイル巻線の端部で観測され,E放電によるプラズマがドーナツ状に成長することが確認された。また,コンデンサ容量を一定にしてコイル巻数を変化させた場合の始動電圧の変化を測定した結果,コイルの巻数が小さいほどコイル電圧を小さくできることが検証された。無電極ランプでは,低いコイル電圧でプラズマ密度の低いE放電が発生し,共振周波数,コイルの巻数,およびコイル電流の積を一定にすればコイル電圧を低くできることが確認された。