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J-GLOBAL ID：201302254981745821   整理番号：13A0974900

不足膨張超音速ジェットによる非平衡プラズマCVDにおけるケイ素の局所蒸着に及ぼすVHF励起周波数の影響

Effect of VHF excitation frequency on localized deposition of silicon in non-equilibrium-plasma-enhanced CVD by an under-expanded supersonic jet

著者 (10件)： KURIBAYASHI Shizuma (Dep. of Environmental & Renewable Energy Systems, Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu ...) ,  TSUNEKAWA Yoshihiro (Dep. of Environmental & Renewable Energy Systems, Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu ...) ,  AKAHORI Shoji (Dep. of Environmental & Renewable Energy Systems, Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu ...) ,  ANDO Daisuke (Dep. of Environmental & Renewable Energy Systems, Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu ...) ,  NAKAMURA Jiro (Dep. of Environmental & Renewable Energy Systems, Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu ...) ,  NISHIDA Satoshi (Dep. of Environmental & Renewable Energy Systems, Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu ...) ,  MUTA Hiroshi (Dep. of Environmental & Renewable Energy Systems, Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu ...) ,  TAKEUCHI Yoshiaki (Solar Power Dep., Power Systems, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd., 6-53 Tukasa-machi, Isahaya 854-0065, JPN) ,  YAMAUCHI Yasuhiro (Solar Power Dep., Power Systems, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd., 6-53 Tukasa-machi, Isahaya 854-0065, JPN) ,  TAKATSUKA Hiromu (Solar Power Dep., Power Systems, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd., 6-53 Tukasa-machi, Isahaya 854-0065, JPN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 225  ページ： 75-78  発行年： 2013年06月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来の非平衡プラズマ化学蒸着プロセスにおいて,種々の励起周波数で,不足膨張超音速ジェットにより打ちつけられた低温(473K)基板上への,ケイ素の高速局所蒸着を観察した。0.3mmの内径の単一ノズルを,容量結合プラズマ用電極の1つとして用いた。65kPaの圧力のSiH₄/H₂混合ガスを,800Paの圧力で真空チャンバ内にノズルを介して注入した。不足膨張超音速ジェットが生成されて,基板表面近傍に乱流を示した。4.5μm/sの最大蒸着速度を,100MHz VHF出力の0.8W/cm²のノズルから10mm下流に得た。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *ケイ素 ,  周波数 ,  超音速ジェット ,  水素 ,  基板 ,  堆積速度 ,  乱流 ,  シラン ,  単分子層 ,  膨張 ,  VHF【周波数】 ,  混合気体 ,  真空容器 ,  ノズル ,  プラズマ ,  周波数依存性 ,  太陽電池
準シソーラス用語： 薄膜太陽電池 ,  容量結合プラズマ

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 超音速ジェット ,  非平衡プラズマ ,  CVD ,  ケイ素 ,  蒸着 ,  VHF ,  励起周波数