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J-GLOBAL ID：201302256412904949   整理番号：13A0055125

Ar/CF₄容量結合プラズマ中の位相シフト効果の流体シミュレーション

Fluid simulation of the phase-shift effect in Ar/CF₄ capacitively coupled plasmas

著者 (3件)： ZHANG Yu-Ru (Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN) ,  BOGAERTS Annemie (Univ. Antwerp, Wilrijk-Antwerp, BEL) ,  WANG You-Nian (Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 45  号： 48  ページ： 485204,1-16  発行年： 2012年12月05日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 円筒状容量結合プラズマ発生装置の二つの電極に位相をシフトさせた種々の周波数の高周波を印加して,周波数および位相シフトによるプラズマ成分の存在比および空間密度分布を制御する理論的研究を行った。本研究ではAr/CF₄プラズマを取り上げ,プラズマ中のAr⁺,CF₃⁺,F^-および原子状Fのプラズマ内における存在比およびその空間密度分布に対する,Ar/CF₄混合比,周波数および位相シフトの影響を流体シミュレーションにより調べた。周波数は13.56-100MHzの範囲内とした。位相シフトは0-πの範囲で,Ar/CF₄比は0.9/0.1-0.1/0.9の範囲内で変化させた。シミュレーション結果を詳細に図示して,プラズマ特性に対する位相シフトの効果を議論した。

シソーラス用語： *アルゴン ,  混合気体 ,  *プラズマ ,  *位相シフト ,  *シミュレーション ,  密度分布 ,  フロン
準シソーラス用語： RFプラズマ ,  容量結合プラズマ ,  流体シミュレーション

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

物質索引 (1件)： 四ふっ化炭素

タイトルに関連する用語 (4件)： Ar ,  容量結合プラズマ ,  位相シフト ,  流体シミュレーション