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J-GLOBAL ID：201302256515077595   整理番号：13A1039591

パルスラジオリシス法による塩素系電子線レジストの反応機構の研究

著者 (11件)： 保坂勇志 (早大 理工研) ,  別當良介 (早大 理工研) ,  小方宏一 (早大 理工研) ,  大山(五輪)智子 (早大 理工研) ,  坂上和之 (早大 理工研) ,  榎本一之 (大阪大 産科研) ,  大島明博 (大阪大 産科研) ,  鷲尾方一 (早大 理工研) ,  田川精一 (早大 理工研) ,  田川精一 (大阪大 産科研) ,  田川精一 (JST-CREST)
資料名： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
巻： 54th  ページ： 115-116  発行年： 2011年09月16日 
JST資料番号： L0690A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *パルス放射線分解 ,  *電子ビーム ,  *電子線レジスト ,  *クロロメチル化ポリスチレン ,  パルス ,  機能性高分子 ,  *電子照射 ,  *反応機構 ,  電荷移動錯体 ,  錯体生成 ,  解離 ,  求電子反応 ,  付加反応 ,  求電子付加反応 ,  電子パルス
準シソーラス用語： 解離性

分類 (4件)： 放射線化学反応  (CB09020M) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  放射線高分子化学  (CG03050S) ,  分子化合物  (CE02000C)

タイトルに関連する用語 (4件)： パルスラジオリシス ,  塩素 ,  電子線レジスト ,  研究