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J-GLOBAL ID：201302257740509832   整理番号：13A0652042

エレクトレットを用いた無給電加速度センサ-概念とセラミック基板上への作製-

著者 (4件)： 鈴木昌人 (関西大) ,  今井正太 (関西大) ,  高橋智一 (関西大) ,  青柳誠司 (関西大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
巻： 4th  ページ： 99-100  発行年： 2012年10月21日 
JST資料番号： L8358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： エレクトレットと強誘電体板を利用した無給電動作可能な慣性力センサの提案および開発を実施した。このセンサは,筆者らが既に発表しているエレクトレットを用いた振動型エナジーハーベスタと同一の原理を用いている。また本センサは誘電体基板上に作製される。本報告では誘電体基板として石英ガラス基板を用いるが,同じく誘電体であるセラミック基板上への作製も視野に入れる。本報でではこのセンサの動作原理,作製法および特性評価結果について述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *エレクトレット ,  電力供給 ,  *加速度計 ,  セラミック ,  *基板 ,  強誘電体 ,  慣性力 ,  センサ ,  振動 ,  エネルギー変換 ,  石英ガラス ,  MEMS ,  有限要素法 ,  計算機シミュレーション

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

タイトルに関連する用語 (6件)： エレクトレット ,  給電 ,  加速度センサ ,  概念 ,  セラミック基板 ,  作製