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J-GLOBAL ID：201302258862181567   整理番号：13A0794806

二重容量性/光センサを有する戦術級マイクロジャイロスコープ

TACTICAL GRADE MICRO GYROSCOPE WITH DUAL CAPCITIVE/OPTICAL SENSING

著者 (6件)： MAIMON R. (RAFAEL Advanced Defense Systems Ltd, ISR) ,  LAHAV O. (RAFAEL Advanced Defense Systems Ltd, ISR) ,  GERSON Y. (RAFAEL Advanced Defense Systems Ltd, ISR) ,  ZOHAR O. (RAFAEL Advanced Defense Systems Ltd, ISR) ,  BERKO H. (RAFAEL Advanced Defense Systems Ltd, ISR) ,  KRYLOV S. (Tel-Aviv Univ., ISR)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.1  ページ： 637-640  発行年： 2013年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 振動や温度環境に対するジャイロセンサの耐性は重要である。そのため。種々の梁構造による直角位相誤差の軽減や2つの結合試験質量からなるセンサなどが研究されている。本稿では,二重容量性光学(CO)センシング技術を検討した。Z軸二重検出技術-COジャイロスコープセンサの動作原理を検討した。SOI製造技術を用いてフォトリソグラフィーとDRIEでマイクロジャイロスコープを作製した。駆動軸安定化のための閉ループ,LED出力補償用の制御ループと共振周波数で駆動させる位相制御ループからなるシステム電子回路を構築した。本センサのドリフトやアンギュラーランダムウォーク(ARW)をAllan分散法で測定した。この結果により,駆動中のバイアス不安定性は5°/時であることを示した。ARWは0.2°/√時であった。

シソーラス用語： *ジャイロスコープ ,  センサ ,  *光センサ ,  不安定性 ,  技術 ,  原理 ,  フォトリソグラフィー ,  RIE【エッチング】 ,  安定化 ,  ループ ,  周波数変動 ,  分散【variance】
準シソーラス用語： Allan分散 ,  DRIE【エッチング】 ,  ジャイロセンサ ,  センシング技術 ,  制御ループ ,  動作原理 ,  容量センサ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 容量性 ,  光センサ ,  戦術 ,  ジャイロスコープ