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J-GLOBAL ID：201302264625332925   整理番号：13A1568495

球面収差補正器を搭載したSTEMによる原子分解能二次電子像

Atomic Resolution Secondary Electron Imaging with Aberration Corrected Scanning Transmission Electron Microscope

著者 (7件)： 稲田博実 ((株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部) ,  田村圭司 ((株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部) ,  鈴木裕也 ((株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部) ,  佐藤高広 ((株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部) ,  今野充 ((株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部) ,  中村邦康 ((株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部) ,  ZHU Yimei (Brookhaven National Lab. Upton)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 34  号： 5  ページ： 247-252 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 筆者らは,収差補正走査透過型電子顕微鏡(STEM)によって二次電子(SE)イメージングを一新した。その結果として,原子分解能SEイメージングがはじめて達成された。筆者らは,SEシグナルを利用して炭素薄膜表面のウラン孤立原子を成功裏に観察した。また,原子分解能SEイメージがウランのような重元素を含む化学種からだけでなく,シリコンや炭素などの軽元素からなる化学種からも得られた。SEシグナルは,化学種の上表面から得られるので,1μmの厚みの材料の原子格子のイメージングが実証された。この独特の技術は,(1)局所的表面とバルク構造を明らかにするための同時原子分解SE/STEMイメージング,(2)原子分解電子顕微鏡のための材料の単純な調製要件,及び(3)100万ボルト電子顕微鏡の利用を必要とせずに,1μm以下の厚みの原子構造のイメージングを含む前例のない応用能を与える。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *球面収差 ,  *収差補正 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  *分解能 ,  *電子 ,  薄膜 ,  ウラン ,  ケイ素 ,  炭素 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： *二次電子 ,  *原子分解能 ,  炭素薄膜

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (29件)：

• HOWIE, A. J. Microscopy. 1995, 180, 192
• LIU, J. J. Electron Microsc. 2005, 54, 251
• VENABLES, J. A. J. Electron Microsc. 2005, 54, 151
• HARADA, Y. J. Electron Microsc. 1993, 42, 294
• 中村邦康. 顕微鏡. 2006, 41, 16

タイトルに関連する用語 (4件)： 球面収差補正 ,  STEM ,  原子分解能 ,  二次電子