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J-GLOBAL ID：201302265829012357   整理番号：13A0689492

面と傾いた方向のパルスレーザー堆積及び金属酸化物のナノ狭窄作製への応用

In-Plane Oblique Pulsed-Laser Deposition and Its Application to the Fabrication of Metal Oxide Nanoconstrictions

著者 (5件)： KUSHIZAKI Takayoshi (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  FUJIWARA Kohei (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  FUJIWARA Yasushi (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  HATTORI Azusa N. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TANAKA Hidekazu (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 6  号： 3  ページ： 035201.1-035201.3  発行年： 2013年03月25日 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 局所的に変更された厚さを有する金属酸化物のナノ構造を作るための新規な方法を提案する。基板上に形成された三次元的なナノテンプレートによるナノスケールの陰影効果を利用して,パルスレーザー堆積法により面と斜め方向に局所的に酸化物を成長することを可能とした。成長位置の分析から,ほんのいくつかの幾何学的なパラメタを調整することによってそれを正確に定めることができることを明らかにした。ボトルネック幅が65nm,長さが53nmの強磁性酸化物Fe_2.5Zn_0.5O₄のナノ狭窄が,連続した析出過程における入射方位角と成長持続時間を制御することによって作製できた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *傾斜角 ,  *レーザ蒸着 ,  *金属酸化物 ,  *くびれ ,  *ナノメータ加工 ,  影効果 ,  強磁性体 ,  鉄化合物 ,  酸化亜鉛 ,  入射角 ,  *パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： *傾き角 ,  *パルスレーザ堆積 ,  陰影効果 ,  亜鉛酸化物

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (29件)：

• BIBES, M. Adv. Phys. 2011, 60, 5
• TIAN, Y. Nanoscale. 2012, 4, 1529
• DRAVID, V. J. Mater. Chem. 2009, 19, 4295
• RA, H.-W. Small. 2008, 4, 1105
• DEVAN, R. S. Adv. Funct. Mater. 2012, 22, 3326

タイトルに関連する用語 (5件)： パルスレーザー堆積 ,  金属酸化物 ,  狭窄 ,  作製 ,  応用