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J-GLOBAL ID：201302266062821447   整理番号：13A0312040

太陽電池応用のための透明導電性酸化物で被覆されたシリコン・ウエハーとガラス基板との陽極接合

Anodic Bonding of Transparent Conductive Oxide Coated Silicon Wafer to Glass Substrate for Solar Cell Applications

著者 (5件)： YUDA Yohei (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KOIDA Takashi (Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  KANEKO Tetsuya (Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  KONDO Michio (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KONDO Michio (Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 6  号： 1  ページ： 012302.1-012302.3  発行年： 2013年01月25日 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明導電性酸化物(TCO)で被覆されたシリコン・ウエハーとガラス基板との陽極接合に関し初めて報告する。厚さ30nmのインジウムスズ酸化物(ITO)層を用いて,9.5MPaもの十分な接着強度を得た。また,ITOのサンプルは酸化亜鉛層のサンプルよりもはるかに強い接着力を示すことがわかった。電界によるインジウム元素のガラス側への浸透の観点から,接着強度機構について論ずる。最後に,この基板を使用した太陽電池を示す。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *化合物半導体 ,  *酸化物 ,  *ウエハ【IC】 ,  *基板 ,  *接合 ,  ガラス ,  接着強さ
準シソーラス用語： ITOガラス ,  *ガラス基板 ,  *シリコンウエハ ,  接着強度 ,  *透明導電性酸化物 ,  *陽極接合

分類 (1件)： 接着  (WC07020V)

引用文献 (10件)：

• WALLIS, G. J. Appl. Phys. 1969, 40, 3946
• SUNG, M. Y. Solid-State Electron. 2006, 50, 795
• KIM, J. I. Solid-State Electron. 2010, 54, 299
• GADKAREE, K. P. J. Mater. Res. 2007, 22, 2363
• CHOI, S. W. J. Electrochem. Soc. 2002, 149, G8

タイトルに関連する用語 (7件)： 太陽電池 ,  応用 ,  透明導電性酸化物 ,  シリコン ,  ウエハー ,  ガラス基板 ,  陽極接合