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J-GLOBAL ID：201302266306718538   整理番号：13A1697972

擬似格子整合LWIR HgCdTe/CdZnTe層における歪測定

Strain Determination in Quasi-Lattice-Matched LWIR HgCdTe/CdZnTe Layers

著者 (6件)： BALLET P. (CEA-LETI, MINATEC Campus, 17, Rue des Martys, 38054, Grenoble, FRA) ,  BAUDRY X. (CEA-LETI, MINATEC Campus, 17, Rue des Martys, 38054, Grenoble, FRA) ,  POLGE B. (CEA-LETI, MINATEC Campus, 17, Rue des Martys, 38054, Grenoble, FRA) ,  BRELLIER D. (CEA-LETI, MINATEC Campus, 17, Rue des Martys, 38054, Grenoble, FRA) ,  MERLIN J. (CEA-LETI, MINATEC Campus, 17, Rue des Martys, 38054, Grenoble, FRA) ,  GERGAUD P. (CEA-LETI, MINATEC Campus, 17, Rue des Martys, 38054, Grenoble, FRA)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 42  号： 11  ページ： 3133-3137  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 筆者等は(211)B CdZnTe基板の亜鉛分布を利用して,分子線エピタクシーにより成長させた長波長赤外HgCdTe層中の格子不整合に起因する応力を検出した。高分解能X線回折を使って,応力テンソルの面内成分と共に,CdZnTeとHgCdTeの両方の歪の無い格子パラメータを正確に求めた。幾つかのウエハを使って,広い格子不整合範囲で応力進展を得た。特に,引張りと圧縮歪を持つHgCdTeに対してそれぞれ,0.02%と0.04%以上の不整合に対して応力緩和を明らかにした。(211)方位に対して予測された面内歪異方性は圧縮構成についてだけ明らかになった。歪緩和は基板の曲率とロッキングカーブピーク広がりと相関しており,塑性緩和の間接的証拠となった。Copyright 2013 TMS Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 赤外線 ,  赤外検出器 ,  *テルル化カドミウム水銀 ,  格子整合 ,  *MBE成長 ,  格子不整合 ,  X線回折 ,  ウエハ【IC】 ,  歪 ,  圧縮 ,  応力緩和 ,  *歪測定 ,  応力テンソル
準シソーラス用語： HgCdTe ,  LWIR【赤外線】 ,  圧縮歪 ,  引張歪 ,  分子線エピタクシー

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  金属材料  (HC02020X)

タイトルに関連する用語 (6件)： 擬似 ,  格子整合 ,  LWIR ,  HgCdTe ,  CdZnTe ,  歪測定