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J-GLOBAL ID：201302268857191924   整理番号：13A1756549

最近の溶射プロセスによるコーティングの組織及び界面微細構造の解析・観察技術

Observation of High Resolution Microstructures in Advanced Thermal Sprayed Coatings and Single Deposited Splats Using Ion Beam Milling

著者 (5件)： KIM Keehyun ,  KIM Keehyun (物質・材料研究機構,先進高温材料ユニット) ,  渡邊誠 (物質・材料研究機構,先進高温材料ユニット) ,  黒田聖治 (物質・材料研究機構,先進高温材料ユニット) ,  川野直美 (物質・材料研究機構材料,ナノアーキテクトニクスファンドリー)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 56  号： 8  ページ： 291-297 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 溶射は,橋梁や高速道路等の鋼構造物の防食コーティング,航空機や発電用タービンの高温部材用の遮熱コーティング,製紙,製鉄等の製造プラントの搬送ロールや航空機のランディングギヤ用の耐摩耗コーティングなどに応用されているコーティング技術である。このコーティング法では,高度に加熱・加速した粒子を基材上に投射し,高能率に厚膜を形成することができる。本稿では,最近開発された,基材に投射する粒子の速度を高速度化(約500m/s以上)して皮膜を緻密化するプロセスによって得られた皮膜の組織,および,界面微細構造の解析と観察技術について解説した。本研究では,溶射粒子と基材間の接合機構を解明するために二種類のイオン研磨法,(i)走査型電子顕微鏡(SEM)による皮膜断面観察を目的とした広角アルゴンイオンビーム,(ii)粒子基材界面のTEM観察を目的とした集束ガリウムイオンビームを用いた。研磨の影響を受けやすいと考えられる高速フレーム(HVOF)溶射したWC-Co皮膜の断面調製にクロスセクションポリッシャーを適用し,その有効性を検討した。

シソーラス用語： *表面構造 ,  *微細構造 ,  *被覆 ,  *溶射 ,  火炎溶射 ,  走査電子顕微鏡 ,  集束イオンビーム
準シソーラス用語： 界面構造 ,  *コーティング ,  フレーム溶射

分類 (2件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

引用文献 (50件)：

• 1) H. Takahashi, A. Sato, M. Takakura, N. Mori, J. Boerder, W. Knoll and J. Critchell: Microchim. Acta., 155 (2006) 295.
• 2) P. Sudraud, G. Benassayag and M. Bon: Microelectron. Eng., 6 (1987) 583.
• 3) M. Shibata: JEOL news, 39 (2004) 28.
• 4) J. H. Orloff and L. W. Swanson: J. Vac. Sci. Technol., 12 (1975) 1209.
• 5) W. H. Escovitz, T. R. Fox and R. L. Seiti: Proc. Nat. Acad. Sci., 72 (1975) 1826.

タイトルに関連する用語 (7件)： 溶射 ,  プロセス ,  コーティング ,  組織 ,  界面微細構造 ,  解析 ,  観察