文献

J-GLOBAL ID：201302272717657211   整理番号：13A0003727

パルスレーザー堆積法による傾斜組成Cr-Al-N-O薄膜の作製

Preparation of Compositionally Gradient Cr-Al-N-O Thin Films by Pulsed Laser Deposition

著者 (7件)： 鈴木常生 (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  藤ノ木和哉 (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  浅見廣樹 (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  平井誠 (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  湯之上隆 (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  末松久幸 (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター) ,  八井浄 (長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 76  号： 6  ページ： 391-396 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,ドライ加工が注目されていが,工具磨耗の誘発,切削温度の上昇が顕著になるため,さらに高硬度,高耐酸化性を有するコーティング材料の開発が必要となっている。本研究では,PLD法でCr-Al-N-O傾斜組成薄膜の作製を試み,作製した傾斜組成薄膜の,組成,結晶性,硬度,を評価した。作製した薄膜のAl含有量は,基板位置がr=0~25mmまで増加するのにしたがい,95at%から30at%まで減少し,傾斜組成薄膜であることが証明できた。傾斜組成薄膜のビッカース硬度は,基板位置r=0~25mmの範囲でHV2000~4300まで変化した。結晶構造はNaCl構造であることが分かった。

シソーラス用語： 表面処理 ,  *被覆工具 ,  *セラミック被覆 ,  *レーザ蒸着 ,  酸化物 ,  窒化物 ,  クロム化合物 ,  アルミニウム化合物 ,  *傾斜機能材料 ,  化学組成 ,  相組成 ,  結晶構造 ,  結晶度 ,  押込硬さ ,  ナノインデンテーション ,  分布 ,  Nd-YAGレーザ ,  濃度分布 ,  X線回折分析 ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： PLD【蒸着】 ,  酸窒化物 ,  傾斜組成 ,  硬度分布

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (20件)：

• 1) T. Ikeda and H. Satoh: Thin Solid Films 195 (1991) 99-110.
• 2) F. Vaz, L. Rebouta, P. Goudeau, J. Pacaud, H. Garem, J. P. Rivière, A. Cavaleiro and E. Alves: Surf. Coat. Technol. 133-134 (2000) 307-313.
• 3) I. Park and K. H. Kim: Journal Materials Processing Technol. 130-131 (2002) 254-259.
• 4) S. H. Kim, J. K. Kim and K. H. Kim: Thin Solid Films 420-421 (2002) 360-365.
• 5) E. Martinez, R. Sanjinès, A. Karimi, J. Esteve and F. Lèvy: Surf. Coat. Technol. 180-181 (2004) 570.

タイトルに関連する用語 (6件)： パルスレーザー堆積法 ,  傾斜組成 ,  Cr ,  Al ,  薄膜 ,  作製