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J-GLOBAL ID：200902254952898209   整理番号：08A0075670

In₂O₃系高移動度透明導電膜

In₂O₃-based Transparent Conductive Oxide Films with High Electron Mobility

著者 (3件)： 鯉田崇 (産業技術総合研 太陽光発電研究セ) ,  藤原裕之 (産業技術総合研 太陽光発電研究セ) ,  近藤道雄 (産業技術総合研 太陽光発電研究セ)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 29  号： 1  ページ： 18-24  発行年： 2008年01月10日 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 薄膜太陽電池用窓電極用途としての,近赤外領域での透明性に優れ...

シソーラス用語： *酸化インジウム ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

引用文献 (22件)：

• 1) Y. Meng, X. Yang, H. Chen, J. Shen, Y. Jiang, Z. Zhang and Z. Hua: Thin Solid Films 394, 219 (2001).
• 2) Y. Yoshida, D.M. Wood, T.A. Gessert and T.J. Coutts: Appl. Phys. Lett. 84, 2097 (2004).
• 3) C. Warmsingh, Y. Yoshida, D.W. Readey, C.W. Teplin, J.D. Perkins, P.A. Parilla, L.M. Gedvilas, B.M. Keyes and D.S. Ginley: J. Appl. Phys. 95, 3831 (2004).
• 4) A.E. Delahoy and S.Y. Guo: J. Vac. Sci. Technol. A 23, 1215 (2005).
• 5) A.A. Selvan, Y. Li, S. Guo and A.E. Delahoy: “Proceedings of the 19th Europian PVSEC” (WIP-Munich and ETA-Florence, Paris, 2004) pp. 1346−1351.

タイトルに関連する用語 (2件)： 高移動度 ,  透明導電膜