キャパシタチップにおけるわずかな表面不規則性の検出のための革新的手法

LIN Hong-Dar; CHIU Yuan-Shyi Peter; LIN Wan-Ting

文献

J-GLOBAL ID：201302277271469680 整理番号：13A1865516

キャパシタチップにおけるわずかな表面不規則性の検出のための革新的手法

AN INNOVATIVE APPROACH FOR DETECTION OF SLIGHT SURFACE VARIATIONS ON CAPACITOR CHIPS

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資料名：
巻： 9 号： 5 ページ： 1835-1850 発行年： 2013年05月
JST資料番号： F1199A ISSN： 1349-4198 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

この報告書は,受動素子の上で表面不規則性検出のためにマシンビジョンベース品質検査システムを開発するための革新的手法を提示する。開発システムは,コンデンサ・チップにおける,わずかな表面不規則性の自動検出法のための離散コサイン変換(DCT)ベース画像再構築法を適用する。最初に,空間領域イメージを周波数領域に変えるためにDCT変換を実行する。DCT領域のエネルギー濃縮分析から,周波数マトリクスを4つの分解マトリクスの中に分解できる。分解マトリクスからコンデンサ・チップ表面のランダム構造機能を表すために,より大きい周波数値の適切な数を選択する。そして,選択された周波数値をゼロに設定し,イメージを再構築する。欠陥があるコンデンサ・チップに関しては,わずかな表面不規則性が予約される。そして,ランダムパターンが復元されたイメージにおいて排除される。最終的に,エントロピー法が復元されたイメージにおける,わずかな表面不規則性領域と均一の領域を見分けるための閾値を設定するのに適用される。実験結果は,提案方法が正常領域からわずかな表面不規則性を正しく区別する96.66%の高い確率,コンデンサ・チップのランダムなテクスチャ表面におけるわずかな変分として誤って正常領域を検出する0.12%の低確率を実現するのを示す。(翻訳著者抄録)

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図形・画像処理一般 , 品質検査

引用文献 (23件)：

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