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J-GLOBAL ID:201302277637654825   整理番号:13A1866101

LED用窒化ガリウム膜上へのナノ粒子インクの印刷による常圧電極形成

著者 (11件):
資料名:
巻: 2013  ページ: 20-21  発行年: 2013年03月20日 
JST資料番号: L1518A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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発光ダイオードで用いられているITO透明電極を,常圧で形成することを目的として,サファイアを基板とする窒化ガリウム積層腹上への直接印刷によるITO透明電極形成について検討した。平均粒子径15nmのITOナノ粒子をペースト化し,スクリーン印刷によって電極パターンを描画した。このパターン膜を850°Cで焼成することにより透明電極の形成に成功し,電圧の印加による発光を確認した。(著者抄録)
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分類 (3件):
分類
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印刷  ,  発光素子  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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