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J-GLOBAL ID：201302278904664513   整理番号：13A1087477

パリレンCをコーティングした表面を用いたパターニングした金属膜の転写印刷

Transfer printing of patterned metal films using parylene C coated surfaces

著者 (4件)： BAVIER J. (Univ. of Maryland, Dep. of Materials Sci. & Engineering, Coll. Park, MD 20742, USA) ,  BAVIER J. (Lab. for Physical Sciences, Coll. Park, MD 20740, USA) ,  CUMINGS J. (Univ. of Maryland, Dep. of Materials Sci. & Engineering, Coll. Park, MD 20742, USA) ,  HINES D.r. (Lab. for Physical Sciences, Coll. Park, MD 20740, USA)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 104  ページ： 18-21  発行年： 2013年04月 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルミニウム(Al),銅(Cu),銀(Ag),ニッケル(Ni)および金(Au)膜の転写印刷の成功を実証した。以前に,Al,Cu,Ag,およびニッケル膜はシリコン(Si)基板への比較的に強い密着性を示したが,弱い転写印刷の結果となった。この限界を克服するために,金属堆積の前に,SiウエハをパリレンCでコーティングした。接触角測定から決定した表面エネルギー計算は,転写印刷プロセスに対するパリレンの適合性を確認した。金属膜を,フォトリソグラフィックにパリレンCをコーティングしたSiウエハ上にパターニングし,ポリエチレンナフタレン(PEN),ポリカーボネート(PC),またはカプトン基板上に転写印刷した。抵抗測定を印刷前後に行った。計算した抵抗率値はバルク材料に近く,印刷後,著しい抵抗率の低下は観察されず,印刷された金属膜は高品質であることを示した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ポリキシリレン ,  塩素化重合体 ,  *転写捺染 ,  被覆 ,  *パターン形成 ,  *金属薄膜 ,  表面処理 ,  アルミニウム ,  銅 ,  銀 ,  ニッケル ,  フレキシブル基板 ,  ウエハ【IC】 ,  *フォトリソグラフィー ,  ポリエチレンナフタレート ,  ポリカーボネート ,  電気抵抗率 ,  表面エネルギー ,  表面被覆
準シソーラス用語： パリレンC

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： パリレンC ,  コーティング ,  パターニング ,  金属膜 ,  転写印刷