文献

J-GLOBAL ID：201302283407881857   整理番号：13A1652343

極端な軸長を有するロバスト性シリコンベース多電極アレイによるin vivo測定

In Vivo Measurements With Robust Silicon-Based Multielectrode Arrays With Extreme Shaft Lengths

著者 (9件)： MARTON Gergely (Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN) ,  FEKETE Zoltan (Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN) ,  FIATH Richard (Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN) ,  BARACSKAY Peter (Eoetvoes Lorand Univ., Budapest, HUN) ,  BARACSKAY Peter (Bay Zoltan Nonprofit Ltd. for Applied Res., Budapest, HUN) ,  ULBERT Istvan (Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN) ,  JUHASZ Gabor (Eoetvoes Lorand Univ., Budapest, HUN) ,  BATTISTIG Gabor (Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN) ,  PONGRACZ Anita (Hungarian Acad. Sci., Budapest, HUN)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 13  号： 9-10  ページ： 3263-3269  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極端に長い軸を有するSiベース4神経電極アレイを作製し,性能評価を行った。DRIE法により15~70mmの長さのプローブを作製した。Si熱酸化膜層上にCVD窒化膜を形成し,リフトオフにより15nmの白金層を堆積させ,様々な構成の白金電極を得,プリント基板にフリップボンドした。ラットin vivo実験を行い,良好な機械特性,ロバストな植込み性,標的能力を達成した。ラット視床皮質や視床等の部位から高品質活動電位を取得できた。組織損傷も評価した。

シソーラス用語： ケイ素 ,  *生体用電極 ,  アレイ回路 ,  電極 ,  in vivo実験 ,  RIE【エッチング】 ,  微細加工 ,  *微小電極 ,  植込電極 ,  白金電極 ,  ロバスト性 ,  ラット ,  *終脳 ,  *活動電位 ,  外傷 ,  性能評価 ,  *生体計測 ,  軸
準シソーラス用語： DRIE【エッチング】 ,  シリコン ,  神経電極 ,  組織損傷 ,  多電極アレイ ,  *微小電極アレイ

分類 (1件)： 生体計測  (EL03020C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 軸長 ,  ロバスト性 ,  シリコン ,  多電極アレイ