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J-GLOBAL ID：201302286486577989   整理番号：13A1182580

IFVS窓構造を備えた980nmシングルモード高出力半導体レーザ

980nm single-mode high power lasers with window structure fabricated by Impurity Free Vacancy Disordering (IFVD)

著者 (3件)： 谷口英広 (古河電気工業) ,  衣川耕平 (古河電気工業) ,  田島正文 (古河電気工業)
資料名： 電気学会光・量子デバイス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： OQD-13  号： 27-30  ページ： 17-20  発行年： 2013年06月20日 
JST資料番号： Z0922A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 不純物フリー混晶化(IFVD)技術を開発し,半導体レーザの同一ウエハ面内で選択的に窓領域とゲイン領域のバンドギャップをコントロールすることに成功した。さらに,その技術を980nmシングルモード半導体レーザに適用し,信頼性を評価するためのエージング試験を行った。その結果,チップ出力は,25°CのCW動作において,1320mWに達し,1200mW 86°Cの4000時間通電試験において故障が見られないことを確認した。さらに,モジュール組立を行った後のファイバ出力は1000mWに達した。このように,端面劣化対策としてIFVD技術を用いた窓構造付きレーザの作製に成功し,半導体レーザの高出力かつ高信頼性化に有効であることを確認した。

シソーラス用語： 寿命試験 ,  信頼性 ,  *半導体レーザ ,  高出力レーザ ,  空格子点 ,  窓 ,  赤外レーザ ,  信頼性試験 ,  損傷

分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

引用文献 (6件)：

• (1) E. Latta, A. Moser, A. Oosenbrug, M. Gasser, and Th. Forster., "Reliability of high-power AlGaAs SQW grinsch lasers," 12th IEEE International Semiconductor Laser Conference (1990) Conference Digest, pp. 276-276.
• (2) J. K. Lee, K. H. Park, D. H. Jang, H. S. Cho, C. S. Park, K. E. Pyun, and J. Jeong, "Improvement of Catastrophic Optical Damage (COD) Level for High-Power 0.98μm GaInAs-GaInP Laser Diodes Using Impurity Induced Layer Disordering," IEEE Photon. Technol. Lett., vol. 10, pp. 1226-1228 (1998).
• (3) K. Hiramoto, M. Sagawa, T. Kikawa, and S. Tsuji, "High-Power and Highly Reliable Operation of Al-Free InGa As-I nGaAsP 0.98-μm Lasers with a Window Structure Fabricated by Si Ion Implantation," IEEE J. Select. Topics Quantum Electron., vol. 5, pp. 817-820 (1999).
• (4) D. G. Deppe, L. J. Guido, N. Holonyak, Jr., K. C. Hsieh, R. D. Burnham, R. L. Thornton, and T. L. Paoli, "Stripe-geometry quantum well heterostructure AlxGal-xAs-GaAs lasers defined by defect diffusion," Appl. Phys. Lett., vol. 49, pp. 510-512 (1986).
• (5) P. L. Gareso, M. Buda, L. Fu, H. H. Tan, and C. Jagadish, "Suppression of thermal atomic interdiffusion in C-doped nGaAs/A1GaAs quantum well laser structures using TiO2 dielectric layers," Appl. Phys. Lett., vol. 85, pp. 5583-5585 (2004).

タイトルに関連する用語 (4件)： 窓 ,  シングルモード ,  高出力 ,  半導体レーザ