抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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QCにおける統計的工程管理の代表的ツールであるが,理論面よりも活用面での難しさがよくいわれる。その理由はいろいろあるが,実工程に管理図が適応していない場合も少なくない。本稿では,半導体製造工程を例に,通常の管理図が不適合である事例を示し,新たな管理図管理の方法を紹介した。