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J-GLOBAL ID：201302288355813825   整理番号：13A0549140

酸化チタンの導波路格子と薄膜の基板オーバーエッチングと熱処理がその光学的性質に及ぼす効果

Effect of substrate overetching and heat treatment of titanium oxide waveguide gratings and thin films on their optical properties

著者 (4件)： SALEEM Muhammad Rizwan (Univ. Eastern Finland, Joensuu, FIN) ,  SALEEM Muhammad Rizwan (National Univ. Sci. and Technol. (NUST), Islamabad, PAK) ,  HONKANEN Seppo (Univ. Eastern Finland, Joensuu, FIN) ,  TURUNEN Jari (Univ. Eastern Finland, Joensuu, FIN)
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 52  号： 3  ページ： 422-432  発行年： 2013年01月20日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  電子ビームリソグラフィー ,  *RIE【エッチング】 ,  スペクトルシフト ,  フォトリソグラフィー ,  電子顕微鏡観察 ,  マグニチュード ,  酸化チタン ,  *回折格子 ,  *誘電体薄膜 ,  基板 ,  熱処理 ,  光学的性質
準シソーラス用語： アレイ導波路格子

分類 (4件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 酸化チタン ,  導波路 ,  格子 ,  薄膜 ,  エッチング ,  熱処理 ,  光学的性質