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J-GLOBAL ID:201302290653918774   整理番号:13A1224117

高温使用可能な新規非鉛圧電材料

著者 (4件):
資料名:
巻: 25  号:ページ: 64-69  発行年: 2013年08月01日 
JST資料番号: L2344A  ISSN: 0916-2410  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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非鉛化合物を母体材料とする高いキュリー温度が期待できる新規圧電体材料の開発において,正方晶系のBiCoO3および正方晶Bi(Zn1/2Ti1/2)O3を母材料として,常圧でも製作可能で,830°Cの高いキュリー温度を有する菱面体晶のBiFeO3との化合物(固溶体)薄膜の研究について紹介する。BiCoO3-BiFeO3およびBi(Zn1/2Ti1/2)O3-BiFe03エピタキシャル薄膜の製作には,化学気相析出法を用いた。各薄膜の温度特性などについて述べる。これらの材料は,従来の材料では困難な大きな圧電性と高いキュリー温度の両立の可能性がある。さらに,化学溶液法などの安価なプロセスでもSi基板上に製作可能であり,圧電MEMS材料として期待される。
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分類 (2件):
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圧電デバイス  ,  圧電気,焦電気,エレクトレット 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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